VACOM傳感器產(chǎn)品概覽

電容式薄膜傳感器的特點(diǎn)是壓力測(cè)量精度高。在腐蝕性環(huán)境中使用傳感器與在不同氣體中出現(xiàn)不同成分時(shí)的使用一樣自然。單個(gè)傳感器已經(jīng)覆蓋了四個(gè)十年的壓力范圍，這意味著即使在高真空下也可以實(shí)現(xiàn)的壓力測(cè)量。集成的 RS232 接口和模擬輸出可在集成到現(xiàn)有系統(tǒng)、流程和自動(dòng)決方案時(shí)實(shí)現(xiàn)的兼容性。

根據(jù)皮拉尼原理，熱損失傳感器涵蓋從大氣壓到高真空的整個(gè)壓力范圍。它們適用于化學(xué)工業(yè)、真空冶金、電子束焊接和氣相沉積工藝。

相對(duì)壓力計(jì)

測(cè)量原理 波登管壓力表 -

確定彈性管的變形

波登管在較高的壓力范圍內(nèi)（直至大氣壓），作用在選擇的表面上的力會(huì)導(dǎo)致其顯著變形。由于這大約與壓力成正比（胡克定律），因此其測(cè)量值可用于直接說(shuō)明當(dāng)前壓力。

VACOM傳感器在的情況下 - 例如 B. 在波登管中——金屬環(huán)的變形直接轉(zhuǎn)移到與校準(zhǔn)刻度相連的指針上。在這種類(lèi)型的機(jī)械壓力計(jì)中，測(cè)量相對(duì)壓力是因?yàn)榭潭壬系闹担ɑ?1 毫巴）表示大氣壓力。由于這可能會(huì)波動(dòng)幾十毫巴，因此壓力測(cè)量會(huì)受到很大的系統(tǒng)誤差。

壓電

膜片真空計(jì)的測(cè)量原理- 使用壓阻法確定彈性膜片的撓度

壓阻式薄膜真空計(jì)可實(shí)現(xiàn)的精度。它們的工作方式與電容式隔膜真空計(jì)類(lèi)似：壓力測(cè)量基于對(duì)帶有壓阻元件的隔膜機(jī)械變形的測(cè)量。壓電元件的電阻率隨著膜片的偏轉(zhuǎn)而變化，從而提供有關(guān)膜片兩側(cè)當(dāng)前壓差的信息。壓力測(cè)定的精度通常約為滿量程的 .，用的測(cè)量范圍為 3 個(gè)壓力十進(jìn)制。

市場(chǎng)上可用的壓電真空計(jì)的終偏轉(zhuǎn)為 13 至 15 毫巴（略高于氣壓）。和溫度穩(wěn)定性以及分辨率比電容式薄膜真空計(jì)稍差，但壓阻式真空計(jì)要便宜得多。

Bourdon 是一種相對(duì)壓力計(jì)。因此，在顯示壓力時(shí)，會(huì)考慮此時(shí)存在的大氣壓力

VACOM膜波紋管
VACOM真空螺絲
VACOM真空閥
VACOM離子吸氣泵
VACOM真空阱

VACOM過(guò)濾器
VACOM真空室

VACOM真空計(jì)

VACOM視鏡